标准号：GB/T 35086-2018
标准名称：MEMS电场传感器通用技术条件
发布日期：2018-05-14
实施日期：2018-12-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：中国科学院电子学研究所、西安西谷微电子有限责任公司、中机生产力促进中心
起草人：夏善红、彭春荣、程红兵、朱悦、李海斌、郑凤杰、白巍
本标准规定了MEMS电场传感器（以下简称“传感器”）的原材料、结构组成、技术要求、试验项目和方法、检验规则、包装、存储和运输。
本标准适用于MEMS电场传感器的研制、生产和采购。其他类型的电场传感器可参照使用。
