标准号：GB/T 36969-2018
标准名称：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
发布日期：2018-12-28
实施日期：2018-12-28
批准发布部门：中国科学院
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人：李慧琴、金承钰、韦菲菲、梁齐、何丹农
本标准规定了使用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。
本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
