标准号：GB/T 36656-2018
标准名称：电子级三乙基镓
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人：陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰
本标准规定了三乙基镓的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于镓镁合金法、三氯化镓法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三乙基镓。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式:C6H15Ga
相对分子质量:156.91(按2013年国际相对原子质量计算)
