标准号:GB/T 37051-2018
标准名称:太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
发布日期:2018-12-28
实施日期:2019-04-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:英利集团有限公司、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司、晋能清洁能源科技有限公司、天津英利新能源有限公司、中国电子技术标准化研究院、泰州中来光电科技有限公司、镇江仁德新能源科技有限公司
起草人:李锋、李英叶、吴翠姑、冯亚彬、唐骏、段青春、张伟、裴会川、程小娟
本标准规定了太阳能级多晶硅锭、硅片的晶体缺陷密度测定方法,包含方法概要、试剂和材料、仪器和设备、试样制备、测试步骤、数据处理、精密度、干扰因素和报告。
本标准适用于太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度的测定。