GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

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标准号:GB/T 37051-2018

标准名称:太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-04-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:英利集团有限公司、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司、晋能清洁能源科技有限公司、天津英利新能源有限公司、中国电子技术标准化研究院、泰州中来光电科技有限公司、镇江仁德新能源科技有限公司

起草人:李锋、李英叶、吴翠姑、冯亚彬、唐骏、段青春、张伟、裴会川、程小娟

本标准规定了太阳能级多晶硅锭、硅片的晶体缺陷密度测定方法,包含方法概要、试剂和材料、仪器和设备、试样制备、测试步骤、数据处理、精密度、干扰因素和报告。

本标准适用于太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度的测定。

GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

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