标准号：GB/T 36401-2018
标准名称：表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
发布日期：2018-06-07
实施日期：2019-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：厦门荷清教育咨询有限公司、清华大学化学系
起草人：汤丁亮、李展平、刘芬、王水菊、岑丹霞、姚文清
本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。
