标准号:GB/T 36706-2018
标准名称:磷化铟多晶
发布日期:2018-09-17
实施日期:2019-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:南京金美镓业有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、石家庄麦特达电子科技有限公司、云南中科鑫圆晶体材料有限公司、有色金属技术经济研究院、广东先导稀材股份有限公司、中国科学院半导体研究所
起草人:范家骅、邢志国、李素青、王阳、刘惠生、赵有文、刘永豪、杨桂芳、刘文兵、李晓岚、孙聂枫、惠峰、朱刘
本标准规定了磷化锢多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。