标准号:GB/T 1550-2018
标准名称:非本征半导体材料导电类型测试方法
代替标准:GB/T 1550-1997
发布日期:2018-12-28
实施日期:2019-11-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:乐山市产品质量监督检验所、广州市昆德科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、云南冶金云芯硅材股份有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国计量科学研究院、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司、新特能源股份有限公司、峨嵋半导体材料研究所、中锗科技有限公司、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
起草人:梁洪、王莹、王昕、王飞尧、邱艳梅、刘晓霞、刘新军、徐远志、肖宗杰、赵晓斌、高英、黄黎、徐红骞、杨旭、张园园、程小娟、潘金平
本标准规定了非本征半导体材料导电类型的测试方法。
本标准适用于硅、锗非本征半导体材料导电类型的测试,其他非本征半导体材料可参照本标准测试。本标准方法能保证对均匀的同一导电类型的材料测得可靠结果;对于导电类型不均匀的材料,可在其表面上测出不同导电类型区域。
本标准不适用于分层结构材料(如外延片)导电类型的测试。