标准号：GB/T 37213-2018
标准名称：硅晶锭尺寸的测定 激光法
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-11-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：苏州协鑫光伏科技有限公司、山东大海新能源发展有限公司、江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
起草人：宫龙飞、金善明、唐珊珊、刘坤、林清香、夏根平
本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。
本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。
