标准号：GB/T 16596-2019
标准名称：确定晶片坐标系规范
代替标准：GB/T 16596-1996
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：有色金属技术经济研究院、浙江海纳半导体有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心
起草人：卢立延、孙燕、楼春兰、胡金枝、潘金平、杨素心、李素青
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。
本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
