标准号：GB/T 37959-2019
标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
发布日期：2019-08-30
实施日期：2020-03-01
批准发布部门：中国机械工业联合会
归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会
起草单位：中车信息技术有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、清华大学、中国石油规划总院
起草人：顾明、程嘉、陈莉、曹自立、王海丹、王峰、李丽、季林红、张颖、黎晓东
本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
