标准号：GB/T 38518-2020
标准名称：柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法
发布日期：2020-03-06
实施日期：2021-02-01
批准发布部门：中国机械工业联合会
归口单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人：刘紫微、吴伟、曾毅、齐振一、林初城、姜彩芬、乐军、宋力昕
本标准规定了柔性薄膜基体上涂层(包含有机、无机与金属涂层)厚度扫描电子显徽镜测量的基本方法及原理、标准样品和仪器设备、操作方法、数据处理的方法。
本标准适用于厚度不大于3mm的柔性薄膜基体上厚度为10nm~0.5mm的涂层的厚度测量。
