标准号：GB/T 38867-2020
标准名称：电子工业用四氯化硅
发布日期：2020-07-21
实施日期：2021-02-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、达州市质量技术监督检验测试中心、湖北省标准化与质量研究院、唐山三孚电子材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、随州市信息与标准化所、西南化工研究设计院有限公司
起草人：徐德、张国光、杨剑、赵雄、戴帅、张竞、陈艳珊、杨利、曹作斌、曲庆、黄辉、谭鹏程、徐龙、赵帅德、黄娣、刘畅、楚东旭、王春英、黄国菲、廖恒易、于青玉、方华、陈鹰、李春华、邓远方、周鹏云、唐霞梅
本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。
