标准号:GB/T 40071-2021
标准名称:纳米技术 石墨烯相关二维材料的层数测量 光学对比度法
发布日期:2021-05-21
实施日期:2021-12-01
批准发布部门:中国科学院
归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会
起草单位:泰州巨纳新能源有限公司、泰州石墨烯研究检测平台有限公司、哈尔滨工业大学(威海)、江南大学、深圳技术大学、东南大学、中国科学院半导体研究所、冶金工业信息标准研究院、华东师范大学
起草人:倪振华、梁铮、王英英、安旭红、南海燕、吴幸、丁荣、谭平恒、于远方、李倩、陈丽琼
本文件规定了光学对比度法(包括反射光谱法和光学图片法)测量石墨烯相关二维材料的层数的仪器设备、样品准备、测量步骤、测试报告等内容。
本文件适用于利用机械剥离法或化学气相沉积法(CVD:chemical vapor deposition)制得的晶体质量高、横向尺寸不小于2μm、层数不多于5的石墨烯薄片及石墨烯薄膜的层数测量。其他方法制得的石蛊烯薄片及石墨烯薄膜可参照本文件执行。