标准号：GB/T 40418-2021
标准名称：电子特气 氟甲烷
发布日期：2021-08-20
实施日期：2022-03-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：浙江省化工研究院有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、昊华气体有限公司、衢州氟硅技术研究院、福建久策气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
起草人：史婉君、张建君、付梦月、侯玲玲、谭慧、褚人财、曹素英、傅铸红、程紧、叶相平、陈洁、吴靓、何波、黄小强、王大为、易达文、梁成科、高静、徐娇、叶树全、周鹏云、张亮、方小青、孙福楠、郑秋艳、董云海、颜光清、何经余、陈艳珊、马建修、王新喜、孙猛、方华、孙赟珑、黄辉、宫兵、李阳、梁永强、吴克安、白占旗、赖晓峰、方艾黎
本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。
