标准号：GB/T 2900.104-2021
标准名称：电工术语 微机电装置
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国电工术语标准化技术委员会
起草单位：中机生产力促进中心、广东瑞克斯智能科技有限公司、芜湖市标准化研究院、漳州市太龙照明工程有限公司、广东万江配电有限公司、芜湖中集瑞江汽车有限公司、北京大学、东莞市吉铼升电机股份有限公司、福州华虹智能科技股份有限公司、浙江博亚精密机械有限公司
起草人：蒯勇、张威、范远斌、申延智、王本雄、蓝秀堂、李桂芳、李婧、倪圣叨、李英、姜圆、陆学贵
本文件界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。
本文件适用于微机电技术领域。
