标准号：GB/T 29732-2021
标准名称：表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
代替标准：GB/T 29732-2013
发布日期：2021-12-31
实施日期：2022-07-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微束分析标准化技术委员会
起草单位：清华大学、中国石油大学（北京）
起草人：姚文清、杨立平、段建霞、李展平、徐同广、王雅君
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。
本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为2eV，配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
