标准号:GB/T 20229-2022
标准名称:磷化镓单晶
代替标准:GB/T 20229-2006
发布日期:2022-03-09
实施日期:2022-10-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、有研国晶辉新材料有限公司
起草人:孙聂枫、王阳、李素青、王书杰、张路、许兴、姜剑、李晓岚、刘惠生、邵会民、史艳磊、付莉杰、张晓丹
本文件规定了磷化嫁单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。
本文件适用于制作光电、微电及声光器件用的磷化镓单晶锭及磷化镓单晶研磨片。