标准号：GB/T 14015-1992
标准名称：硅-蓝宝石外延片
发布日期：1992-12-28
实施日期：1993-08-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：天津半导体技术研究所
本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
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