标准号：GB/T 4059-1983
标准名称：硅多晶气氛区熔磷检验方法
发布日期：1983-12-20
实施日期：1984-12-01
废止日期：2008-02-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：中国有色金属工业协会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法
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