标准号：GB/T 14146-1993
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
废止日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海市有色金属总公司
GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
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