标准号：GB/T 14143-1993
标准名称：300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
废止日期：2006-12-31
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：中国有色金属工业协会
起草单位：机电部第四十六研究所
GB/T 14143-1993 300～900μm硅片间隙氧含量红外吸收测量方法
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