标准号：GB/T 14620-1993
标准名称：薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片
发布日期：1993-09-03
实施日期：1993-12-01
废止日期：2014-04-15
批准发布部门：工业和信息化部（电子）
归口单位：工业和信息化部（电子）
起草单位：国营七九九厂
本标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片（以下简称基片）。
GB/T 14620-1993 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片
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