标准号：GB/T 14602-1993
标准名称：电子工业用气体 氯化氢
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
废止日期：2015-07-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：化工部西南化工研究院
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。分子式：HC1相对分子质量：36.461（按1989年国际相对原子质量）
