标准号：GB/T 4298-1984
标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
发布日期：1984-03-28
实施日期：1985-03-01
废止日期：2017-12-15
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：中国有色金属工业协会
起草单位：有色金属研究总院
本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。
GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
免费下载
本平台标准仅供学习参考，使用请以正式出版的标准版本为准。声明：资源收集自网络分享，所提供的电子版文档仅供学习参考，如侵犯您的权益，请联系我们处理。
不能下载？报告错误