标准号：JB/T 4081-2011
标准名称：真空技术 溅射离子泵
代替标准：JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国真空技术标准化技术委员会
起草单位：北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人：朱国精、邹蒙 等