标准号：YS/T 837-2012
标准名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国有色金属标准化中心
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院等
起草人：刘红宾、尚再艳 等