SJ/T 11451-2013 扩散炉能源消耗规范

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标准号:SJ/T 11451-2013

标准名称:扩散炉能源消耗规范

发布日期:2013-10-17

实施日期:2013-12-01

本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃~1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

中国电子技术标准化研究所

起草单位:北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心

起草人:李补忠、盛金龙 等

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