标准号：JB/T 12067-2014
标准名称：TDL-GX硅芯生长炉
发布日期：2014-07-14
实施日期：2014-11-01
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国工业电热设备标准化技术委员会
起草单位：西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等
起草人：陈巨才、朱琳
JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉
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