标准号:SJ/T 11492-2015
标准名称:光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
本标准规定了采用光致发光测试系统对表面经过处理的磷镓砷(GaAs1-xPx)晶片组分进行测试的方法。本标准适用于气相外延生长的,光致发光峰(λpl)在640nm~670nm范围内时,对应磷的摩尔分数为36%到42%的n型GaAs1-xPx晶片。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类无
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国科学院半导体研究所等
起草人:李静、金鹏、何秀坤 等