SJ/T 11497-2015 砷化镓晶片热稳定性的试验方法

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标准号:SJ/T 11497-2015

标准名称:砷化镓晶片热稳定性的试验方法

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

本标准规定了半绝缘砷化镓(GaAs)热稳定性的试验方法。本标准适用于电阻率在10∧4Ω·cm~10∧9Ω·cm范围半绝缘砷化镓单晶材料的热稳定性试验。

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人:何秀坤、董彦辉、刘兵 等

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