标准号：YS/T 14-2015
标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
代替标准：YS/T 14-1991
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：马林宝、杨帆、葛华等
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
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