标准号:YS/T 1069-2015
标准名称:金铍蒸发料
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:谢宏潮、阳岸恒、向磊等
标准号:YS/T 1069-2015
标准名称:金铍蒸发料
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
批准发布部门:工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:谢宏潮、阳岸恒、向磊等
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