标准号：YS/T 1060-2015
标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
全国有色金属标准化技术委员会
起草单位：中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司
起草人：刘新军、刘英杰、郑华荣等
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
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