JC/T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚

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标准号:JC/T 1048-2018

标准名称:单晶硅生长用石英坩埚

代替标准:JC/T 1048-2007

发布日期:2018-10-22

实施日期:2019-04-01

本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚(以下简称石英坩埚)的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。

批准发布部门:工业和信息化部行业分类无

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