标准号：SJ/T 11762-2020
标准名称：半导体设备制造信息标识要求
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
适用于半导体设备制造信息标识
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等
起草人：冯亚彬、程朝阳、钟华 等
SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求
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