标准号：XB/T 515-2020
标准名称：钪铝合金靶材
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材，主要用于半导体及光电等领域。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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批准发布部门：工业和信息化部行业分类制造业
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