HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法

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标准号:HG/T 5962-2021

标准名称:硅片切割废液处理处置方法

发布日期:2021-08-21

实施日期:2022-02-01

本文件规定了硅片切割废液(浆)的组成、处理处置方法、环保排放要求。

本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液(浆)的处理处置。

归口单位:全国废弃化学品处置标准化技术委员会

起草单位:嘉兴市环科环保新材料科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、广州市环境保护技术设备有限公司、浙江水知音环保科技有限公司、渤海宏铄(连云港)清洁技术有限公司

起草人:金月祥、王彦、茹伟原、阮忠强、王立林、金佳媛、陆思伟、倪康、朱鸿宇、王莹、黄正浩

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