标准号：YS/T 987-2021
标准名称：氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
代替标准：YS/T 987-2014
本文件规定了气相色谱质谱联用法测定氯硅烷中碳杂质含量的方法。
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海省亚硅硅材料工程技术有限公司、青海芯测科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、新疆大全新能源股份有限公司
起草人：魏东亮、田润朝、蔡延国、曹岩德、陈英、安军林、陈英春、于生海、申梅桂、李升业、宗冰、尹东林、肖建忠、刘翠、徐家扬