标准号：HG/T 5895-2022
标准名称：工业用混合气体 硅烷/氮气
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-04-01
本文件描述了工业用氮中硅烷混合气体（以下简称“混合气体”）的制备方法、试验方法.确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、包装、标志、储存及安全信息的要求。
本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。
归口单位：全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会
起草单位：广东华特气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、大连大特气体有限公司、北京氦普北分气体工业有限公司、武汉钢铁集团气体有限责任公司、福建久策气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、南通市金通气体有限公司
起草人：傅铸红、孙福楠、张金波、曲庆、赵俊秀、周亚兰、齐利兵、曹素英、陈艳珊、蒋宏达、赖晓峰、唐霞梅、吴靓、米陈闽