标准号：SJ/T 10478-1994
标准名称：磁控溅射设备通用技术条件
发布日期：1994-04-11
实施日期：1994-10-01
本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件
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