标准号：SJ/T 11184-1998
标准名称：显影设备通用规范
代替标准：SJ 8194－1988
发布日期：1998-03-11
实施日期：1998-05-01
本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等的显影设备。
批准发布部门：电子工业部行业分类无
SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范
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