JB/T 10789-2007 高压晶体炉 TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉

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标准号:JB/T 10789-2007

标准名称:高压晶体炉 TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉

发布日期:2007-08-28

实施日期:2008-02-01

本标准规定了对TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉(以下简称高压晶体炉)的各项要求,包括品种规格、技术性能及订购和供货等。本标准适用于液封直拉法拉制Ⅲ-Ⅴ族(或Ⅱ-Ⅵ族)化合物单晶的高压晶体炉。

批准发布部门:国家发展和改革委员会行业分类无

全国工业电热设备标准化技术委员会

起草单位:西安理工大学晶体生长设备研究所

起草人:陈巨才、赵秦延

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