标准号:JB/T 10789-2007
标准名称:高压晶体炉 TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉
发布日期:2007-08-28
实施日期:2008-02-01
本标准规定了对TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉(以下简称高压晶体炉)的各项要求,包括品种规格、技术性能及订购和供货等。本标准适用于液封直拉法拉制Ⅲ-Ⅴ族(或Ⅱ-Ⅵ族)化合物单晶的高压晶体炉。
批准发布部门:国家发展和改革委员会行业分类无
全国工业电热设备标准化技术委员会
起草单位:西安理工大学晶体生长设备研究所
起草人:陈巨才、赵秦延