标准号：JJF 1306-2011
标准名称：X射线荧光镀层测厚仪校准规范
发布日期：2011-09-14
实施日期：2011-12-14
起草单位：中国计量科学研究院、深圳市计量质量检测研究院、江苏天瑞仪器股份有限公司
起草人：朱小平(中国计量科学研究院)、王强兵(深圳市计量质量检测研究院)、李玉花(江苏天瑞仪器股份有限公司)、杜华(中国计量科学研究院)、王蔚晨(中国计量科学研究院)
本规范适用于X射线荧光镀层测厚仪的校准。
X射线荧光镀层测厚仪是一种基于能量色散方法的非破坏性定量分析仪器，具有分析测量多种金属材料成份和多种镀层厚度的功能，广泛应用于电子、半导体、首饰、材料分析等行业。X射线荧光镀层测厚仪测量镀层厚度的原理:X射线管产生的初级X射线照射在被分析的样品上，样品受激发而辐射出二次X射线被探测器接收，此二次辐射具有该样品材料的波长和能量特征，镀层厚度和二次辐射强度有一定的关系，经多道分析器及计算机进行能谱分析处理后，计算被测样品的镀层厚度。