标准号：JJF 1613-2017
标准名称：掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
发布日期：2017-02-28
实施日期：2017-05-28
起草单位：中国计量科学研究院、常州市计量测试技术研究所
起草人：任玲玲（中国计量科学研究院）、高慧芳（中国计量科学研究院）、周志峰（常州市计量测试技术研究所）
本规范适用于掠人射X射线反射膜厚测量仪器（以下简称仪器）的校准。
JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
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