JJF 2160-2024 激光共聚焦显微镜校准规范

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标准号:JJF 2160-2024

标准名称:激光共聚焦显微镜校准规范

发布:2024-10-19

实施:2025-04-19

本规范适用于激光共聚焦显微镜的校准,其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可参照本规范。

起草单位:中国计量科学研究院、哈尔滨工业大学

归口单位:全国几何量长度计量技术委员会

起草人:施玉书、刘俭、张树

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