GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件

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标准号:GB/T 15394-1994

标准名称:多探针测试台通用技术条件

发布日期:1994-12-28

实施日期:1995-08-01

批准发布部门:工业和信息化部(电子)

归口单位:工业和信息化部(电子)

起草单位:平凉半导体专用设备研究所

本标准规定了多探针测试台(以下简称探针台)的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等要求。本标准适用于手动、半自动、全自动多探针测试台。其他类型的探针测试台亦可参照使用。

GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件

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