标准名称：GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。分子式：O2。相对分子质量：31.9988（按2005年国际相对原子质量计算）。读者对象：半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。
