标准名称：GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-11-01
本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。
GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法
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