T/FSI 003-2016 气相二氧化硅生产用四氯化硅

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标准号:T/FSI 003-2016

标准名称:气相二氧化硅生产用四氯化硅

发布日期:2017-04-10

实施日期:2017-06-01

气相二氧化硅生产用四氯化硅的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和安全。

本标准适用于多晶硅副产四氯化硅、三氯氢硅副产四氯化硅以及其它方法制得的四氯化硅,该四氯化硅满足气相二氧化硅生产原料的质量要求。

批发部门:中国氟硅有机材料工业协会

起草单位:宜昌汇富硅材料有限公司、中蓝晨光成都检测技术有限公司、广州吉必盛科技实业有限公司、浙江富士特硅材料有限公司、新亚强硅化学股份有限公司

起草人:王成刚、陈敏剑、吴春雷、方卫民、初亚军、黄潇、罗晓霞、申士和、赵艳艳、刘春山

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