T/SICA 001-2020 钛白粉用集成电路制造行业废硫酸

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标准号:T/SICA 001-2020

标准名称:钛白粉用集成电路制造行业废硫酸

发布日期:2020-04-29

实施日期:2020-06-01

批发部门:上海市集成电路行业协会

起草单位:上海市集成电路行业协会、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力集成电路制造有限公司、台积电(中国)有限公司、上海积塔半导体制造有限公司、上海澎博钛白粉有限公司

起草人:徐伟、陶金龙、石建宾、何姚军、张大炜、付笃、姚弘珏、孙茜、蔡静莉、孟现隆

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